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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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准分子激光直刻横向影响区实验研究
柳海鹏, 周月豪, 熊良才, 史铁林
2005, 29(2): 132-134.
关键词: 准分子激光, 直刻, 横向影响区, 脉冲激光参数
LIGA工艺中微电铸工艺研究
马龙, 周月豪, 熊良才, 柳海鹏, 史铁林
2006, 30(1): 47-49.
关键词: 微电铸, LIGA, 准分子激光, PMMA
准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究
龙芋宏, 熊良才, 史铁林, 柳海鹏
2006, 30(3): 235-237.
关键词: 激光技术, 光电化学, 准分子激光, 刻蚀,